特許
J-GLOBAL ID：200903056660021281
干渉計測方法および干渉計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-023699
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221032
出願日： 1997年02月06日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 波長を越える段差や絶対距離を含んだ形状の測定を高精度かつ高速に行うことが可能な干渉計測方法および干渉計測装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源60から第1および第2の波長のレーザ光を出射して干渉を生じさせ、第1の撮像管67Aによって第1の波長の干渉縞画像を検出し、第2の撮像管67Aによって第2の波長の干渉縞画像を検出する。コンピュータ9は、第1の波長の干渉画像を基にラップされた第1の位相分布を、第2の波長の干渉縞画像を基にラップされた第2の位相分布を演算し、第1および第2の位相分布を基に2πの区間より拡大された所定の測定範囲にわたり平面原器64と測定対象面4aとの絶対距離の概略情報を演算し、第1および第2の位相分布のいずれか一方の位相分布を基に精密な形状情報を演算し、絶対距離の概略情報および精密な形状情報を基に測定対象面の精密な絶対形状情報を演算する。
請求項（抜粋）：
第1の波長の光波と第2の波長の光波を基準面および測定対象面に照射し、前記基準面で反射した前記第1の波長の光波と前記測定対象面で反射した前記第1の波長の光波とを干渉させるとともに、前記基準面で反射した前記第2の波長の光波と前記測定対象面で反射した前記第2の波長の光波とを干渉させる第1のステップと、前記第1の波長の光波の干渉によって生じた前記第1の波長の干渉縞画像、および前記第2の波長の光波の干渉によって生じた前記第2の波長の干渉縞画像を個別に検出する第2のステップと、前記第1の波長の干渉縞画像に基づいて測定対象波面の2πの区間にラップされた第1の位相分布を演算するとともに、前記第2の波長の干渉縞画像に基づいて測定対象波面の2πの区間にラップされた第2の位相分布を演算する第3のステップと、前記第1および第2の位相分布に基づいて、前記2πの区間より拡大された所定の測定範囲にわたり、前記基準面と前記測定対象面との絶対距離の概略情報を演算する第4のステップと、前記第1および第2の位相分布のいずれか一方の位相分布に基づいて、前記2πの区間にわたり、精密な形状情報を演算する第5のステップと、前記絶対距離の概略情報および前記精密な形状情報に基づいて、前記所定の測定範囲にわたり、前記測定対象面の精密な絶対形状情報を演算する第6のステップを含むことを特徴とする干渉計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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