特許
J-GLOBAL ID：200903056660964062
静電駆動装置及びシャッタ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-092449
公開番号（公開出願番号）：特開2005-278374
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 移動子の移動速度が空間内の気体の抵抗を受けて低下することを防止できる静電駆動装置及びシャッタ装置を提供する。【解決手段】 移動子(24b)を駆動するための電極が設けられた面を有する固定子(1b)と、固定子と対向して移動子を保護するための保護部材(25)と、上記固定子の全周縁部に配されて、上記固定子と上記保護部材とに挟まれて密閉空間を形成する封止部材(30)とを有し、上記密閉空間内には、上記移動子が移動する移動空間と、移動空間の他に上記移動子の移動に伴なって気体が移動する気体流路空間とが形成され、上記移動空間と上記気体流路空間とが連なっている静電駆動装置である。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
静電力によって移動子を駆動する静電駆動装置において、
該移動子を駆動するための電極が設けられた面を有する固定子と、
該固定子と対向して上記移動子を保護するための保護部材と、
上記固定子の全周縁部に配されて、上記固定子と上記保護部材とに挟まれて密閉空間を形成する封止部材とを有し、
上記密閉空間内には、上記移動子が移動する移動空間と、該移動空間の他に上記移動子の移動に伴なって気体が移動する気体流路空間とが形成され、上記移動空間と上記気体流路空間とが連なっていることを特徴とする静電駆動装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H02N1/00
, G03B9/36 A
, G03B9/36 C
, G03B9/36 F
2H081AA04
, 2H081AA13
, 2H081BB11
