特許

J-GLOBAL ID：200903056664487676

物品識別装置

発明者： 長井 晴夫 ,  山谷 和弘 ,  小林 誠一郎 ,  飯塚 春雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-245391
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069476
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【目的】 占拠面積、タクトタイム、価格を抑制できる物品識別装置の提供。【構成】 ウエハ受渡し装置21はウエハ識別コード読取装置40の読取エリア47に配置され、旋回軸24で旋回される第1アーム25と、第1アームに軸支されて回転される第2アーム26と、第2アームに軸支されて回転されるハンド29と、ハンドの一端部に突設された位置合わせ凸部30と、ハンドの他端部に突設されて凸部の方向へ移動される位置合わせピン32とを備えている。【効果】 ウエハがハンドに受け取られピンで凸部に押し付けられてハンドに芯合わせされ、第1アームと第2アームの短縮作動でハンドが旋回軸に芯合わせされて旋回軸とウエハとが芯合わせされ、旋回軸でウエハが旋回されると、識別コードが読取装置の読取位置に一致される。つまり、受渡し装置自体がアライメントステージを構成するため、アライメントステーションを省略できる。

請求項（抜粋）：

物品に付された識別コードを光学的に読み取る読取装置と、この読取装置の読取ステージに物品を受け渡す受渡し装置とを備えており、各物品の識別コードを読み取ることにより物品を識別する物品識別装置において、前記受渡し装置は前記読取装置の読取ステージに配置されているとともに、物品の識別コードが付された位置を前記読取装置の読取エリアに合致させるように構成されていることを特徴とする物品識別装置。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  G06K 9/20 310 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/02 A ,  G06K 9/20 310 A ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 A