変位検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-340185
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178459
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】専用の製造装置に取付けて調整するといった作業を必要とせず、非常に短時間で、高精度に調整された長尺スケールの製造に利用することができる変位検出装置を提供する。【解決手段】スライダ2は、メインスケールユニット1に具備されたスケール3、4のつなぎ目部分に配置され、スケール3、4との相対位置を検出し検出信号を出力する検出部6と、各スケール3、4への出力信号の位相と検出部6からの検出信号の位相との位相差に基づいて各スケール3、4の相対位置を算出し、検出した変位量に従って調整部5によりスケール4の位置合わせを行い、精度の良い長尺スケールを製造する。

請求項（抜粋）：

並設することにより一の長尺スケールを形成する複数のスケールと前記複数のスケールとの相対位置を検出するスライダ手段を備えた変位検出装置において、前記スライダ手段は、複数のスケールからの信号を同時に得ることのできる位置での前記各スケールからの信号に基づいて各スケールの相対位置を算出し、複数のスケールの調整すべき変位量を検出するスケール位置検出手段とを有することを特徴とする変位検出装置。

IPC (3件)：

G01B 21/02 , G01B 3/02 , G05D 3/12

FI (3件)：

G01B 21/02 H , G01B 3/02 , G05D 3/12 A

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