特許

J-GLOBAL ID：200903056670607810

多段式真空ポンプ装置

発明者： 柳澤 清司 ,  清水 展
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194823
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231366
出願日： 1991年07月09日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】 コンパクトで架台への固定作業が容易な多段式真空ポンプを提供すること。【構成】 複数台の真空ポンプを直列に連結してなる多段式真空ポンプ装置において、上流側の真空ポンプと下流側の真空ポンプとを水平又は垂直方向に配列し、上流側真空ポンプの吐出口と下流側真空ポンプの吸込口を直接連結し、両真空ポンプを一体としたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複数台の真空ポンプを直列に連結してなる多段式真空ポンプ装置において、上流側真空ポンプの吐出口と下流側真空ポンプの吸込口を直接連結し、上流側真空ポンプと下流側真空ポンプを一体としたことを特徴とする多段式真空ポンプ装置。

IPC (2件)：

F04C 23/00 ,  F04C 25/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公昭33-004701
  
• 特公昭61-028837
  
• 特開昭52-039810