特許

J-GLOBAL ID：200903056673948465

排ガス処理システム

発明者： 児玉 孝行 ,  吉川 清 ,  社浦 肇
出願人/特許権者： 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-321196
公開番号（公開出願番号）：特開平11-156103
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：

【要約】【課題】 排ガス処置装置において、リンなどの固化物が装置内に堆積し、装置で使用している薬液のライフサイクルが短くなったり、装置の目詰まりによるシステムの交換頻度が短くなったり、またポンプなどへの周辺装置への固化物の拡散等の問題があった。【解決手段】 冷却管をボトムと垂直かつ等間隔に設置し、また振動発生装置を取り付ける。

請求項（抜粋）：

タンクと、前記タンク上部に設置されてあるガス導入口と、前記ガス導入口と接続されているガス分岐管と、前記ガス分岐管と接続されている冷却パイプと、前記タンクの下部に配置されている固化物収容部とを具備することを特徴とする排ガス処理装置。

IPC (3件)：

B01D 7/02 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

B01D 7/02 ,  C23C 16/44 E ,  H01L 21/205