特許

J-GLOBAL ID：200903056679599357

気体レーザーのマイクロ波放電励起方法及びマイクロ波気体レーザー装置

発明者： 池田 哲哉 ,  団野 実 ,  加茂 俊洋 ,  茂中 俊明
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-150577
公開番号（公開出願番号）：特開平9-331094
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】 空胴共振器内のレーザーガス媒質を均一に放電励起させ、レーザー出力及び発振効率を向上させることができる気体レーザーのマイクロ波放電励起方法及びマイクロ波気体レーザー装置を提供する。【解決手段】 マグネトロン2から出力されたマイクロ波を空胴共振器4中に導入し、そのマイクロ波電界によって放電させるためのガス流路を構成する石英板1と、全反射ミラー5及び出力ミラー6からなる光共振器とを備えて構成されるレーザー発振器において、前記空胴共振器4内に形成したガス流路中のレーザー光軸に対してガス流れ上流側に誘電体である円柱状の石英棒12を設置することによって、前記マイクロ波電界によって発生した放電プラズマを安定に維持させる。

請求項（抜粋）：

マイクロ波発振器から出力されたマイクロ波を空胴共振器中に導入し、そのマイクロ波電界によって放電させるためのガス流路を構成する石英板と、全反射ミラー及び出力ミラーからなる光共振器とを備えて構成されるレーザー発振器において、前記空胴共振器内に形成したガス流路中のレーザー光軸に対してガス流れ上流側に誘電体を設置することによって、前記マイクロ波電界によって発生した放電プラズマを安定に維持させることを特徴とする気体レーザーのマイクロ波放電励起方法。