特許

J-GLOBAL ID：200903056679895339

感放射線性組成物

発明者： 小林 英一 ,  大田 利幸 ,  村田 誠 ,  辻 昭
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-280047
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130667
出願日： 1992年10月19日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【構成】 (A)下記式(1)【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基を示し、R2は水素原子、アルキル基、アラルキル基またはアリール基を示し、R3およびR4は、同一もしくは異なり、水素原子、置換メチル基、置換エチル基、シリル基、ゲルミル基またはアルコキシカルボニル基を示し、Xは酸素原子もしくは硫黄原子であり、nは0または1を示す、で表わされる繰返し単位を有する重合体および(B)感放射線酸形成剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。【効果】 本発明の感放射線性組成物は、エキシマレーザーなどの遠紫外線、シンクロトロン放射線などのX線、電子線などの荷電放射線といった、放射線のいずれにも対応できるので、今後さらに微細化が進行すると予想される集積回路製造用のレジストとして有利に使用できる。

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基を示し、R2は水素原子、アルキル基、アラルキル基またはアリール基を示し、R3およびR4は、同一もしくは異なり、水素原子、置換メチル基、置換エチル基、シリル基、ゲルミル基またはアルコキシカルボニル基を示し、Xは酸素原子もしくは硫黄原子であり、nは0または1を示す、で表わされる繰返し単位を有する重合体および(B)感放射線酸形成剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027