特許
J-GLOBAL ID：200903056688569258
電界放射型走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086011
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302290
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 電界放射型電子銃における加速電圧を変化させても、常に2次電子検出信号の補正を適切に行うことができる電界放射型走査電子顕微鏡を実現する。【構成】 電子銃1の加速電圧を変化させることに伴い、各ビーム変動検出器に検出される電流量は変化するが、2次電子検出信号の電子ビームの電流量の変動の補正は、2種のビーム変動検出器8,15の加算信号が使われるため、一方の検出器からの信号量が極端に少なくなったり、検出されなくなったとしても、適切に2次電子検出信号の補正を行うことができる。なお、第1と第2のビーム変動検出器16,18の検出信号をそれぞれ増幅する可変増幅器の増幅率を、加速電圧に応じて個別に変化させるようにしたので、どのような加速電圧であっても、ほぼ一定のSN比の加算器17の出力を得ることができる。
請求項（抜粋）：
電界放射エミッタと、エミッタから電子を引き出すための引出電極と、引き出された電子を加速するためのアノードと、加速された電子ビームを試料上に細く集束するための集束レンズと、試料上の電子ビームを2次元的に走査するための走査手段と、試料への電子ビームの照射によって発生した信号を検出する検出器と、電子ビーム光学系の光軸に沿った2か所でそれぞれ電子ビームの一部をカットする遮蔽手段と、それぞれの遮蔽手段に入射する電子ビームの電流量をそれぞれ増幅する2種の増幅器と、2種の増幅器の出力を加算する加算手段と、検出器の出力と加算手段の出力との除算を行う除算手段と、除算手段の出力が供給される像表示手段とを備えており、2種の増幅器の増幅度を加速電圧の変化に応じて変化させるように構成した電界放射型走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/04
, H01J 37/073
, H01J 37/28
