特許

J-GLOBAL ID：200903056693741077

光導波路の作製方法

発明者： 金森 弘雄 ,  浦野 章 ,  向後 隆司 ,  広瀬 智財 ,  斎藤 真秀
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-164491
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020338
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 火炎堆積法を用いてガラス膜の厚さ及びドーパント分布をほぼ均一にする。【構成】 本発明の光導波路の作製方法は、基板10の移動方向と垂直に往復移動するガラス微粒子合成用バーナ12にてガラス微粒子18を基板に堆積させ、このガラス微粒子18が堆積した基板10を加熱処理することによって、ガラス微粒子18が透明ガラス化した膜の形成がなされる光導波路の作製方法であって、バーナ12からのガラス微粒子18が堆積する際の基板10とバーナ12との相対速度を略一定(誤差範囲±10%程度)としてガラス微粒子18を堆積することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

回転するターンテーブル上に載せられた基板に、前記ターンテーブルの半径方向に往復移動するガラス微粒子合成用バーナにてガラス微粒子を前記基板に堆積させ、このガラス微粒子が堆積した前記基板を加熱処理することによって、前記ガラス微粒子を透明ガラス化した膜が形成される光導波路の作製方法において、前記バーナを略一定の速度で移動させ、前記ターンテーブルの回転速度を、前記バーナが前記ターンテーブルの回転軸の内側にきたときに大きく、外側にきたときに小さくして前記ガラス微粒子を堆積することを特徴とする光導波路の作製方法。