ワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-145655
公開番号（公開出願番号）：特開平9-323320
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】溝付ローラを傷付けることなく実機と略同じ条件で溝形状を測定することにより、正確な溝の磨耗量を得る。【解決手段】実機のワイヤの直径と等しい測定用ワイヤ27を溝付ローラ14の溝15に巻き掛ける。次に、スプリング31によって測定用ワイヤ27の張力を設定したのち、測定用ワイヤ27が巻き掛けられた溝をカメラ20で撮像し、カメラ20からの映像信号を画像処理する。次いで、画像処理して得られた溝付ローラ14の溝15と測定用ワイヤ27との輪郭データに基づいて溝付ローラ14の溝形状を測定する。スプリング31による測定用ワイヤ27の張力は、溝付ローラ14の溝15に巻き掛けられる実機のワイヤの張力と同一に設定する。

請求項（抜粋）：

一方のワイヤリールから繰り出されたワイヤを複数台の溝付ローラの溝に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法に於いて、前記ワイヤの直径と等しい測定用ワイヤを前記溝付ローラの溝に所定の張力で巻き掛けたのち、該測定用ワイヤが巻き掛けられた溝を撮像手段によって撮像し、該撮像手段からの映像信号を画像処理し、該画像処理して得られた溝付ローラの溝と前記測定用ワイヤとの輪郭データに基づいて溝付ローラの溝形状を測定することを特徴とするワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法。

IPC (4件)：

B28D 7/00 , B24B 27/06 , B28D 5/04 , G01B 11/24

FI (4件)：

B28D 7/00 , B24B 27/06 G , B28D 5/04 C , G01B 11/24 A

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