特許

J-GLOBAL ID：200903056694239006

走査形電子顕微鏡の試料微動装置

発明者： 赤津 光男 ,  小笹 進
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-058510
公開番号（公開出願番号）：特開平7-272661
出願日： 1994年03月29日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】試料傾斜軸線上に試料が一致したことを光検出器により検出し、一致させるための機構を試料微動装置に持たせ、容易に位置合わせが出来ること、また位置決め精度の向上を計ることを目的とする。【構成】本発明装置の構成は、ユーセントリック傾斜機能を持つ試料微動装置1の傾斜軸線上に光源2および光検出器4を設け、光源はスイッチ8により開閉できる。光検出器4の出力はメータ7に表示され傾斜軸合わせ機構6により試料台を上下に移動する試料3が、傾斜軸線上に一致したことを知らしめる構成となっている。【効果】本発明によれば、試料の傾斜軸への合わせが容易に且つ迅速に行える。また位置決め精度も格段に向上する効果がある。

請求項（抜粋）：

試料を傾斜した場合に、視野の移動を生じないように構成した、いわゆるユーセントリック試料移動台において試料傾斜軸中心に光源および光検出器を設け、試料の上端部が検出光を遮へいし、検出光量が減じ、全光量のほぼ1/2となったことをもって試料面が傾斜軸線上に一致したことを検知するように構成したことを特徴とする走査形電子顕微鏡の試料微動装置。