特許

J-GLOBAL ID：200903056697153765

耐熱性感光材料

発明者： 西沢 広 ,  鈴木 健司 ,  萩原 秀雄 ,  小島 康則
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-013513
公開番号（公開出願番号）：特開平5-204154
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】 低温硬化性に優れるとともに膜強度、耐熱性、接着性、厚膜形成性及び像形成性を合わせ持った感光性樹脂組成物を形成しうる耐熱性感光材料を提供する。【構成】 一般式(I)で表される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体を含有してなる耐熱性感光材料。【化1】(式中、R1及びR2は脂環式基又は芳香族基を表し、R3及びR4はフラン環、ピラン環及びピロン環、それらの誘導体残基又は水素を表し、R3及びR4の総和のうち水素は0〜90モル%である。また、COOR3及びCOOR4はアミド基に対してオルト位に結合している)

請求項（抜粋）：

一般式(I)で表される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体を含有してなる耐熱性感光材料。【化1】(式中、R1及びR2は脂環式基又は芳香族基を表し、R3及びR4はフラン環、ピラン環、ピロン環、それらの誘導体残基又は水素を表し、R3とR4の総和のうち水素は0〜90モル%であリ、COOR3及びCOOR4はアミド基に対してオルト位に結合している)

IPC (7件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312