特許

J-GLOBAL ID：200903056698614910

液中ジェット方式を用いた洗浄装置

発明者： 逢地和孝
出願人/特許権者： 日本アビオニクス株式会社
代理人 (1件)： 功力 妙子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-358253
公開番号（公開出願番号）：特開平6-190348
出願日： 1992年12月26日
公開日（公表日）： 1994年07月12日
要約：

【要約】【目的】 高密度に実装された基板を洗浄するための,小型でコストの安価な液中ジェット方式を用いた洗浄装置を提供すること。【構成】 洗浄液を入れた洗浄槽内において噴射ノズル管から洗浄液を噴射して被洗浄物を洗浄する液中ジェット方式を用いた洗浄装置において,噴射ノズルを被洗浄物の両面に対向させるとともに,この両面に沿って洗浄槽上面から底面へと深さ方向に可動自在に配置した一対の噴射ノズル管と,この噴射ノズル管を洗浄槽内で深さ方向に上下動させる可動機構と,洗浄槽内の洗浄液をポンプを介して洗浄槽の上面に位置する噴射ノズル管へと加圧循環させるとともに,一部にフレキシブル管を接続したパイプとからなり,噴射ノズル管を洗浄槽内で上下動させて前記噴射ノズルからの洗浄液により,被洗浄物を洗浄するようにしたものである。【効果】 洗浄力が優れているとともに,装置全体の構造の簡単化,小型化,コストを安くすることが出来る。

請求項（抜粋）：

洗浄液を入れた洗浄槽内において,噴射ノズル管から洗浄液を噴射して被洗浄物を洗浄する液中ジェット方式を用いた洗浄装置において,噴射ノズルを前記被洗浄物の両面に対向させるとともに,この両面に沿って前記洗浄槽上面から底面へと深さ方向に可動自在に配置した一対の噴射ノズル管と,この噴射ノズル管を前記洗浄槽内で深さ方向に上下動させる可動機構と,前記洗浄槽内の洗浄液をポンプを介して前記洗浄槽の上面に位置する噴射ノズル管へと加圧循環させるとともに,一部にフレキシブル管を接続したパイプと,からなり,前記噴射ノズル管を前記洗浄槽内で上下動させて前記噴射ノズルからの洗浄液により,前記被洗浄物を洗浄することを特徴とする液中ジェット方式を用いた洗浄装置。