特許

J-GLOBAL ID：200903056700833799

露光装置

発明者： 安里 直生 ,  野末 寛 ,  白木 誠一
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 桑井 清一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350112
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192995
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 照度補正作業を自動化し、変形絞りに対しても高精度の照度均一性を得ることができる露光装置を提供する。【構成】 半導体基板17を搭載したXYステージ18上の露光領域の照度を、その中心部および周辺部に配設した複数の照度センサ21a〜21eにより、測定する。これらの測定値に基づいて光源1を3軸方向に移動して、照度均一性の高い露光を得る。標準絞りまたは変形絞り9に対応して照度均一性が最適となる光源1の位置を得て、記録手段22に記録し、この記録した位置データの基づき光源1を補正駆動することにより、迅速に高精度で照度均一性を得ることができる。

請求項（抜粋）：

光源から発生した光を用いて透過照明によりレチクルを照明し、このレチクルのパターンを投影レンズ系により所定の位置に結像させる露光装置において、上記結像面の位置における露光領域内の複数点の照度を同時に測定する照度測定手段と、この測定結果に基づいて上記光源を互いに直交する3軸方向に移動させる光源位置調整手段とを備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/72 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 C ,  H01L 21/30 502 G

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-070419
  
• 特開昭59-083165
  
• 特開平2-017626
  
• 特開昭63-027015