特許

J-GLOBAL ID：200903056705615480

表面位置設定方法、表面位置設定装置及び露光装置

発明者： 岩永 武彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-332669
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133224
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】 走査中の基板の表面位置設定を高精度かつ高速にて行うことを可能にする。【解決手段】 X,Y方向及び高さ方向に移動するステージ5上に吸着固定された基板であるウエハ4の面位置を相対走査しながら面位置検出系26で連続的に検出し駆動する。面位置検出系26は、ウエハ4の表面へ面位置検出光を投光する投光部側の光源10やスリット部材12等とウエハ4からの反射光を光電変換素子にて光電変換し基板表面位置を求める受光部側の受光レンズ16や光電変換手段群19等とを利用し、光電変換素子として各画素の駆動パルスを与えるシフトパルスと撮像素子の蓄積区間を決めるリセットパルスとの2つのパルス列を入力する1次元の複数の撮像素子を用い、少なくとも1つの撮像素子に対して互いに位相の異なるリセットパルスを与える。

請求項（抜粋）：

少なくともX,Y方向及び高さ方向に移動するステージ上に吸着固定された基板の面位置を相対走査しながら面位置検出系で連続的に検出し駆動する表面位置設定方法において、前記面位置検出系は、前記基板表面へ面位置検出光を投光する投光部と該基板からの反射光を光電変換素子にて光電変換し該基板表面位置を求める受光部とを利用し、前記光電変換素子として各画素の駆動パルスを与えるシフトパルスと撮像素子の蓄積区間を決めるリセットパルスの少なくとも2つのパルス列を入力する1次元及び2次元のどちらかの複数の撮像素子を用い、少なくとも1つの前記撮像素子に対して互いに位相の異なるリセットパルスを与えることを特徴とする表面位置設定方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/02

FI (6件)：

G01B 11/00 H ,  G03F 7/22 H ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 526 B ,  H01L 21/30 518 ,  G02B 7/11 M

Fターム (32件)：

2F065AA03 ,  2F065AA24 ,  2F065BB02 ,  2F065BB15 ,  2F065CC20 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL59 ,  2F065MM02 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2H051AA10 ,  2H051BA72 ,  2H051CC04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC15 ,  5F046DA13 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11