外乱補正機能付きアブソリュ-ト測長器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小沢信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-123998
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117810
出願日： 1991年05月28日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】測定環境に制限を加えなくても高精度な測定が可能なアブソリュ-ト測長器を実現する。【構成】周波数安定化光源と波長(または周波数)可変光源を持ち、2つの光を同時に測長用干渉計に入射するアブソリュ-ト測長器で、波長(または周波数)可変光源の波長を掃引中に発生した測長用干渉計の光路長変化を測長用干渉計に同時に入射させた周波数安定化光源から出射した光の干渉位相の変化として検出し、アブソリュ-ト測長値に補正を加える機能を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光源の周波数を可変した時に測長用干渉計部から得られる干渉位相の変化を検出して物体までの絶対距離を測定するアブソリュ-ト測長器において、ガスの吸収線やエタロンを周波数基準として使用して光の周波数を高精度に安定化した周波数安定化光源と、3電極波長可変レ-ザダイオ-ドなどから成る波長(または周波数)可変光源と、前記物体からの反射光と参照光との干渉位相を測定する測長用干渉計部と、光路差を固定した長さ基準から得られる干渉位相を測定する基準干渉計部と、前記測長用干渉計部および基準干渉計部から得られる干渉位相測定信号を入力して前記絶対距離を求める干渉位相測定部とを備え、前記周波数安定化光源および波長(または周波数)可変光源から出射される2つの光を同時に前記測長用干渉計部および基準干渉計部に入射して、前記波長(または周波数)可変光源の波長を掃引中に発生した前記測長用干渉計部の光路長変化を前記測長用干渉計部に同時に入射させた前記周波数安定化光源から出射した光の干渉位相の変化として検出し、前記波長可変光源部の波長を連続的に掃引した時に前記測長用干渉計部から得られる位相変化と前記基準干渉計部から得られる位相変化および前記基準干渉計部の光路差から求める前記絶対距離に補正を加えるようにしたことを特徴とする外乱補正機能付きアブソリュ-ト測長器。

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