特許

J-GLOBAL ID：200903056714051866

微細位置検出センサー

発明者： 酒井 正彦
出願人/特許権者： 株式会社小野測器
代理人 (1件)： 田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342143
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167604
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 1μm以下の微細位置検出可能な位置検出センサ-。【構成】 微細な間隔の多数の帯電電荷4a、b、c、d...を有するエレクトレット1と、そのエレクトレットと所定間隔で相対しエレクトレットとの相対移動時に帯電電荷に対向する位置に設けた多数のくし歯5E、f、g、h...上で帯電電荷からの誘導により繰り返し生ずる帯電・放電を、相対移動によって変化した位置検出用の電位変化に変換して出力するくし歯状電極2とで構成される。

請求項（抜粋）：

速度計およびエンコ-ダ等に使用される位置検出センサ-において、微細な間隔で帯電させた多数の表面電荷を有するエレクトレットと、該エレクトレットと所定間隔で相対し前記エレクトレットとの水平方向相対移動時に前記表面電荷に対向する位置に設けた多数のくし歯上で繰り返し生ずる帯電・放電を位置検出用の電位変化に変換出力するくし歯状電極を備えたことを特徴とする微細位置検出センサ-。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭49-103073
  
• 特開昭54-151462
  
• 特開昭63-243817
  
• 特公平4-067881