特許
J-GLOBAL ID：200903056716159680
アクチュエータ素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
増田 達哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-259336
公開番号（公開出願番号）：特開平9-084372
出願日： 1995年09月11日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】カルボキシル基を有する陽イオン交換樹脂の表面に電極体を形成する。【解決手段】カルボキシル基を有する含水状態の陽イオン交換樹脂層2の表面に電極体3、4を接合してなるアクチュエータ素子1の製造方法であって、陽イオン交換樹脂の有するカルボキシル基を-COOM基(ただし、Mは、金属またはアンモニウムイオン)に転換した後、該-COOM基のM+ イオンの一部を電極を形成する金属イオンまたは金属錯イオンに交換し、次いで、陽イオン交換樹脂に還元剤溶液を接触させることにより前記電極を形成する金属イオンまたは金属錯イオンを還元して陽イオン交換樹脂の表面に金属核を形成し、さらに、成長浴を用いて前記金属核上に金属層を成長させ、電極体を形成する。
請求項（抜粋）：
-COOM基(ただし、Mは、金属またはアンモニウムイオン)を有する陽イオン交換樹脂の表面に電極体を形成することによりアクチュエータ素子を製造するに際し、前記-COOM基のM+ イオンの一部を電極を形成する金属イオンまたは金属錯イオンに転換する工程と、該電極を形成する金属イオンまたは金属錯イオンを還元して前記陽イオン交換樹脂の表面に電極金属核を形成する工程と、成長浴を用いて前記電極金属核上に金属層を成長させることにより前記電極体を形成する工程とを有することを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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