特許
J-GLOBAL ID：200903056726010880
磁気記録媒体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-224869
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069459
出願日： 1995年09月01日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【課題】 円周方向に均一な静磁気特性をもつディスク状磁気記録媒体を作製する。【解決手段】 マグネトロンスパッタ装置のカソード3内にプラズマを閉じ込めるために設けられる磁石6a〜6hを、カソード3の円周方向に交互に極性を異ならせて配置し、カソード3の中央部を回転中心として回転させることにより、磁界はカソード3上に固定されるターゲットの円周方向に発生する。Co-Sm 系合金磁性層の成膜をする際に、回転する磁石6a〜6hによる漏れ磁界が基板表面の円周方向に影響を及ぼし、成膜後のCo-Sm 系合金磁性層の磁化容易軸(c軸)が基板の円周方向に向く。これにより、円周方向における静磁気特性の均一なCo-Sm 系合金磁性層をもつ磁気記録媒体が作製される。
請求項（抜粋）：
非磁性体基板上にCo とSm とを含有する磁性層を成膜するに際し、前記基板の円周方向に磁界を印加することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (5件)：
H01F 41/18
, C23C 14/14
, C23C 14/34
, G11B 5/66
, G11B 5/852
H01F 41/18
, C23C 14/14 F
, C23C 14/34 H
, G11B 5/66
, G11B 5/852 Z
