特許
J-GLOBAL ID：200903056727473530
ガス流から有害物質を除去する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-098738
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038245
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 ガス流から有害物質を除去する方法、特に、半導体処理室から出るガス流から非常に安定な過フルオロカーボンを燃焼によって除去する方法を提供することにある。【解決手段】 ガス流から有害物質の燃焼分解方法は、ガス流と添加した燃料ガスを混合物として、有孔ガスバーナの出口面によって囲まれた燃焼帯域(4)に噴射し、同時に、燃料ガスと空気/酸素混合物を有孔ガスバーナに供給して出口面で燃焼を行わせ、生じた燃焼生成物流を燃焼帯域から排出することからなり、酸素が、燃焼帯域への混合物の導入前にガス流及び燃料ガスに添加され、酸素/燃料ガス混合物が噴射箇所で燃焼することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ガス流と添加した燃料ガスを混合物として、有孔ガスバーナの出口面によって囲まれた燃焼帯域に噴射し、同時に、燃料ガスと空気/酸素混合物を有孔ガスバーナに供給して出口面で燃焼を行わせ、生じた燃焼生成物流を燃焼帯域から排出し、酸素が、燃焼帯域への混合物の導入前にガス流及び燃料ガスに添加され、酸素/燃料ガス混合物が噴射箇所で燃焼する、ガス流から有害物質の燃焼分解方法。
IPC (2件)：
F23G 7/06 ZAB
, A62D 3/00
F23G 7/06 ZAB D
, A62D 3/00
