電気特性評価方法および評価装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-337619
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139467
出願日： 2000年11月06日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】結晶粒界のような微小な領域の電気特性を精度良く確実に、且つ効率よく評価することである。【解決手段】試料表面に収束イオンビームを照射するとともに、有機金属ガスを吹きつけ、試料表面の所定領域に金属膜を形成し、この形成された金属膜の周辺部に付着した有機金属ガスを、アルゴンイオンビームを用いて除去し、上記アルゴンイオンビームによる試料表面の損傷層を酸またはアルカリ薬液を用いて除去することにより電極を形成して、この電極にプローブを接触させて試料表面の微小な領域の電気特性を測定する。

請求項（抜粋）：

試料表面に電極を形成し、この電極にプローバを接触し試料の電気特性を測定する電気特性評価方法において、上記試料表面に、収束イオンビームを照射するとともに、有機金属ガスを吹きつけて、試料表面の所定領域に金属膜を形成する工程と、上記形成された金属膜の周辺部に付着した有機金属ガスを、アルゴンイオンビームを用いて除去する工程と、上記アルゴンイオンビームによる試料表面の損傷層を酸またはアルカリ薬液を用いて除去する工程とにより電極を形成することを特徴とする電気特性評価方法。

IPC (5件)：

G01N 27/00 , G01R 1/06 , G01R 31/02 , G01R 31/302 , H01L 21/285

FI (5件)：

G01N 27/00 Z , G01R 1/06 F , G01R 31/02 , H01L 21/285 C , G01R 31/28 L

Fターム (28件)：

2G011AA01 , 2G011AA02 , 2G011AE03 , 2G014AA00 , 2G014AB62 , 2G014AC19 , 2G060AA09 , 2G060AD01 , 2G060AE40 , 2G060AF09 , 2G060AG03 , 2G060EA06 , 2G060EB09 , 2G132AA00 , 2G132AF02 , 2G132AF12 , 2G132AL11 , 4M104AA05 , 4M104AA10 , 4M104BB18 , 4M104CC01 , 4M104DD48 , 4M104DD63 , 4M104FF03 , 4M104GG02 , 4M104HH11 , 4M104HH14 , 4M104HH20

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