特許
J-GLOBAL ID：200903056733872048
真空炉
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 毅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-255661
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066090
出願日： 1991年09月06日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 冷媒ガスを導入することにより処理品を冷却する真空炉において、その冷媒ガスを循環させるファンのモータの軸受に対する給油を容易にしてその寿命を増大させる。【構成】 耐圧性のチャンバ1内に処理品を装入して真空状態で加熱し、該チャンバ1内に冷媒ガスを導入して該冷媒ガスをファン7の回転により循環させることにより該処理品を冷却する真空炉において、該チャンバ1と連通する耐圧性のモータ室14内にグリス補給式の軸受を備えたファンモータ8を設置し、該軸受15,15にはグリスをモータ室14外から給排油できるように該軸受15,15に継がる給油管16,16および排油管17,17をモータ室14壁をシール部材22を介して貫通させてモータ室14外に配管してなる。
請求項（抜粋）：
耐圧性のチャンバ内に処理品を装入して真空状態で加熱し、該チャンバ内に冷媒ガスを導入して該冷媒ガスをファンの回転により循環させることにより該処理品を冷却する真空炉において、該チャンバと連通する耐圧性のモータ室内にグリス補給式の軸受を備えたファンモータを設置し、該軸受にはグリスをモータ室外から給排油できる手段を設けてなることを特徴とした真空炉。
IPC (2件)：
前のページに戻る
