特許

J-GLOBAL ID：200903056735181247

検査装置

発明者： 奥田 健太郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-205792
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045302
出願日： 1991年08月16日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】検査対象物の欠陥を正確に観察することができ信頼性の高い検査装置を提供することにある。【構成】検査対象物32を照明する照明手段22と、検査対象物32からの反射光のうち平行な光のみを撮像するCCDカメラ23と、CCDカメラ23の出力に基づいて検査対象物32の欠陥を抽出する欠陥抽出手段25と、この欠陥抽出手段25の抽出結果に基づいて検査対象物32の良否を判定する良否判定手段26とを備えた。

請求項（抜粋）：

検査対象物を照明する照明手段と、上記検査対象物からの反射光のうち検査対象物側面に体して平行な光のみを撮像する撮像手段と、上記撮像手段の出力に基づいて上記検査対象物の欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、この欠陥抽出手段の抽出結果に基づいて上記検査対象物の良否を判定する良否判定手段とを具備した検査装置。