特許

J-GLOBAL ID：200903056735584970

インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法

発明者： 小林 順一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-207094
公開番号（公開出願番号）：特開平10-044438
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：

【要約】【課題】 インク吐出発生素子の形成および電気的駆動を行うための回路形成には、多段の工程を必要とし、その間、基板の裏面は特別な配慮を行わない限り、工程中の基板取り扱いにより基板裏面にキズ、汚れ等の不良現象が発生し、インク供給口をエッチング形成する際、基板裏面であるエッチング面のキズ、汚れが起因となる欠陥に結びつくのでキズおよび汚れの発生を排除する技術の提供が望まれている。【解決手段】 インク供給口を挟んで片側または両側にインク吐出発生素子が形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、インク供給口をSi異方性エッチング技術により形成する際、吐出発生素子の形成された面と反対側であるエッチング開始面側を予め研磨する工程を付加したインクジェット記録ヘッドの製造方法。

請求項（抜粋）：

インク吐出方向がインク吐出発生素子の形成されたSi基板に対して垂直方向に吐出するインクジェット記録ヘッドの前記Si基板中央に貫通するインク供給口を設け、前記インク供給口を挟んで片側または両側にインク吐出発生素子が形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク供給口をSi異方性エッチング技術により形成する際、吐出発生素子の形成された面と反対側であるエッチング開始面側を予め研磨する工程を付加したことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。