特許

J-GLOBAL ID：200903056746077867

基板の保持方法及びそれを用いた搬送装置

発明者： 吉川 勇希 ,  太田 稔也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282986
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129700
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 キャリア内での基板間隔を小さくしても、他の基板と干渉することなく基板を取り出せる基板の保持方法、及びその方法を用いた搬送装置を提案すること。【解決手段】 基板を保持する工程に、該基板に外力を加えると共にその外力の大きさを調節する工程を付加した。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板を所定の間隔で収納するキャリアとの間で基板を収受する、基板の搬送装置において、以下の工程を含むことを特徴とする、基板の保持方法。?@前後移動によって前記キャリアに挿脱自在な保持部に基板を保持する、保持工程。?A前記基板の、前記保持工程で保持された部分以外の位置に外力を加え、前記基板を前記キャリア内に収納されて自重変形した形状、又は変形が少ない形状にする、変形工程。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 C ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/30 502 J