特許
J-GLOBAL ID：200903056749503409
像検出光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312548
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160696
出願日： 1992年11月24日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 対物光学系の射出瞳位置に自由度を与えて、光学設計時の負荷を軽減できる像検出光学装置を提供すること。【構成】 対物光学系(11a,11b) を介して集光された物体からの光により、物体の像を検出器(12)にて検出する像検出光学装置は、対物光学系と検出器との間にて対物光学系の光軸方向に移動可能に設けられた開口絞り手段(13,14) と、この開口絞り手段を移動させる駆動手段(15,16) と、対物光学系の射出瞳に関する情報を検知し、検知情報に基づいて駆動手段を制御する制御手段(17)とを有する。
請求項（抜粋）：
対物光学系を介して集光された物体からの光により、該物体の像を検出器にて検出する像検出光学装置において、前記対物光学系と前記検出器との間にて前記対物光学系の光軸方向に移動可能に設けられた開口絞り手段と、前記開口絞り手段を移動させる駆動手段と、前記対物光学系の射出瞳に関する情報を検知し、該検知情報に基づいて前記駆動手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする像検出光学装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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