特許

J-GLOBAL ID：200903056757474450

研磨パッドの検査方法

発明者： 鬼頭 信弘 ,  横道 安二 ,  内田 幹雄
出願人/特許権者： ロデール・ニッタ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-284421
公開番号（公開出願番号）：特開2002-092593
出願日： 2000年09月19日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】【課題】 研磨パッドの空孔の分布を数値化し、研磨パッドの空孔占有率と密度との相関を求めることにより、確実に研磨パッドの良否を判別することができるようにする。【解決手段】 研磨パッドの検査方法は、研磨パッドの表面に形成された空孔の分布を数値化できる画像処理機能を持った検査装置を用いて、研磨パッドの表面を検査して、空孔占有率を数値化する工程、該研磨パッドの空孔占有率と、研磨パッドの密度との間に相関を求める工程、および該相関に基づいて研磨パッドの良否を判別する工程、を包含する。

請求項（抜粋）：

研磨パッドの表面に形成された空孔の分布を数値化できる画像処理機能を持った検査装置を用いて、研磨パッドの表面を検査して、空孔占有率を数値化する工程、該研磨パッドの空孔占有率と、研磨パッドの密度との間に相関を求める工程、および該相関に基づいて研磨パッドの良否を判別する工程、を包含する研磨パッドの検査方法。

IPC (3件)：

G06T 1/00 300 ,  B23Q 17/24 ,  B24B 37/00

FI (3件)：

G06T 1/00 300 ,  B23Q 17/24 A ,  B24B 37/00 C

Fターム (12件)：

3C029CC01 ,  3C029CC10 ,  3C058AA07 ,  3C058AC02 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17 ,  5B057AA03 ,  5B057BA24 ,  5B057CC03 ,  5B057DA03 ,  5B057DA13 ,  5B057DC34