特許
J-GLOBAL ID:200903056760310566
少なくとも2つの電極に給電するための電源装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 水谷 好男
, 伊坪 公一
, 西山 雅也
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-520866
公開番号(公開出願番号):特表2006-528478
出願日: 2004年07月23日
公開日(公表日): 2006年12月14日
要約:
本発明は、少なくとも2つの電極(20、21)と、励起対象のガス(24)を収容する空間とを有する構造(2)に対してエネルギーを供給する電源装置(1)に関するものであり、指定された周波数の交流電圧(V(t))を2つの電極に対して給電するべく、上記電源装置には、電圧源(10)と、該電圧源に接続されてかつ上記構造にリンクされたインダクタンス(41、42)とが備え付けられている。本発明による電源装置は、構造(2)およびインダクタンス(42)から構成されたシステムの共振周波数fRに、上記交流電圧の上記周波数を原則的に固定化させるための共振手段を有することを特徴としている。
請求項(抜粋):
少なくとも2つの電極(20、21)と励起対象のガス(24)を収容する空間とを含む構造(2)に対して、エネルギーを供給するための電源装置(1、1’)であって、
任意の周波数の周期的電圧(V(t))を前記2つの電極に供給するべく、電圧源(10)と、該電圧源(10)に接続されかつ前記構造に接続されるインダクタ(41、42,40’)と、を有する前記電源装置において、
前記周波数を、前記構造(2)と前記インダクタ(40’、42)から構成されるシステムの共振周波数fRに実質的に固定化するためのいわゆる共振手段を含んでいることを特徴とする電源装置。
IPC (4件):
H02M 7/48
, H05B 41/24
, H01J 63/06
, C23C 16/505
FI (4件):
H02M7/48 A
, H05B41/24 Z
, H01J63/06
, C23C16/505
Fターム (18件):
3K072AA16
, 3K072AC02
, 3K072DD04
, 3K072GA00
, 3K072GC04
, 3K072HA05
, 4K030FA03
, 4K030JA18
, 4K030KA30
, 5C039MM01
, 5H007BB03
, 5H007CB09
, 5H007CC01
, 5H007CC03
, 5H007CC32
, 5H007DA03
, 5H007DC02
, 5H007DC05
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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