インクジェットプリンターヘッドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098391
公開番号（公開出願番号）：特開平6-286150
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：

【要約】【目的】圧電駆動式インクジェットプリンターにおいてインク流路内のパリレン膜上に堆積した酸化シリコン膜の密着性を向上させることにより、インク流路内の親液性が安定した高度の信頼性を有するインクジェットプリンターヘッドの製造方法を提供することである。【構成】圧電性セラミックスからなる貫通した溝を有する圧電性基板において、この溝内部に電極膜を形成し、その上に順次、パリレン膜、酸化シリコン膜を堆積後、酸化シリコン膜表面を酸素を含むガス雰囲気中でイオンボンバードする。【効果】インク流路内の親液性が保持された、インク吐出特性の安定した高度の信頼性を有するインクジェットプリンターヘッドの製造方法の提供が可能となる。

請求項（抜粋）：

圧電性セラミックからなる圧電性基板に形成されている互いに平行な多数の溝とこの溝の上部に接着されている平板上の蓋とにより規定されるインク流路と、このインク流路の一方の端部に接着されているインク吐出孔を有するノズル板とによって構成され、インク流路内面に駆動用電極膜を有する圧電駆動式インクジェットプリンターヘッドにおいて、前記電極膜の上にパリレン膜、酸化シリコン膜を順次堆積後、酸素を含むガス雰囲気中で前記酸化シリコン膜表面をイオンボンバードすることを特徴とするインクジェットプリンターヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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