特許
J-GLOBAL ID:200903056778448492

多重スペクトル・センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 布施 行夫 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-296284
公開番号(公開出願番号):特開平7-209083
出願日: 1992年10月08日
公開日(公表日): 1995年08月11日
要約:
【要約】【目的】 小型の個別の構成要素として製造することができ、高い出力信号を得ながらも高い測定精度を有する多重スペクトル・センサを提供する。【構成】 本発明は、複数のフィルタおよびセンサ要素を備えた、異なったスペクトル範囲の被測定放射線のための多重スペクトル・センサに関する。そして、ビームを複数のビーム部分に光学装置であるピラミッド部34によって分割し、フィルタ36に反射する。フィルタ36の背後には、放射線感応要素38が設けてあり、これらの放射線感応要素38が上流側の各フィルタ36の透過範囲に対応するスペクトル範囲を検出する。残りのスペクトル範囲のビーム部分はフィルタ36面によって他のフィルタ36に向かって反射される。こうして、各フィルタ36は対応するスペクトル範囲のビーム部分の供給を受ける。
請求項(抜粋):
ケーシング(11)と、被測定放射線(18)を取り入れるための、ケーシング(11)内に設置した入口ポート(16)と、この入口ポート(16)の奥の光路内に設置してあって、入口ポート(16)を通して入射した被測定放射線(18)をビーム部分に分割する光学装置(34)と、この光学装置(34)を取り囲み、異なったスペクトル透過範囲を有し、外面に反射構造を有する複数のフィルタ(36a〜36d)と、これらのフィルタの背後でビーム部分の光路内に配置した放射線感応要素(38a〜38d)とを包含することを特徴とする多重スペクトル・センサ。
IPC (2件):
G01J 3/28 ,  G01J 5/60
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭60-103324

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