特許

J-GLOBAL ID：200903056781426394

透明導電膜付きカラーフィルター基板の製造方法

発明者： 斉藤 生 ,  河村 有紀 ,  大崎 壽 ,  林 泰夫
出願人/特許権者： エイ・ジー・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-295308
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146480
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【構成】樹脂保護層3と透明導電膜4の間に不純物をドープさせたSiターゲットを用いて、N2 および/またはNH3 を含むガス雰囲気でDCスパッタリング法によりSiNX 膜5を設けるカラーフィルター基板の製造方法。【効果】透明導電膜の付着力が向上し、透明導電膜のパターニング性が向上し良好な透明電極パターンが形成できる。

請求項（抜粋）：

透明基体上に、カラーフィルター層、樹脂保護層、透明導電膜を順に形成してなるカラーフィルター基体の製造方法において、樹脂保護層と透明導電膜の間に不純物をドープさせたSiターゲットを用いて、N2 および/またはNH3 を含むガス雰囲気でDCスパッタリング法によりSiNX 膜を形成することを特徴とする透明導電膜付きカラーフィルター基板の製造方法。

IPC (3件)：

G02F 1/1343 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505