特許

J-GLOBAL ID：200903056787201343

圧電セラミックスの製造方法

発明者： 立本 一志 ,  高田 真帆子 ,  堀野 賢治 ,  宮部 和夫 ,  岡 均
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-096730
公開番号（公開出願番号）：特開平10-279352
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】 厚み縦振動の3倍波を利用する高周波素子として用いた場合でも、共振周波数の温度係数が小さく、機械的Q値が高くでき、小型化、低電圧駆動化への対応が容易な圧電セラミックスを実現する。【解決手段】 チタン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスを製造するに際し、焼成工程と分極工程との間に、大気圧未満の酸素分圧の雰囲気にて、500°C超かつ焼成温度以下の温度で加熱処理を行う圧電セラミックスの製造方法とした。

請求項（抜粋）：

チタン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスを製造するに際し、焼成工程と分極工程との間に、大気圧未満の酸素分圧の雰囲気にて、500°C超かつ焼成温度以下の温度で加熱処理を行う圧電セラミックスの製造方法。

IPC (3件)：

C04B 35/46 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (3件)：

C04B 35/46 H ,  H01L 41/18 101 C ,  H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭53-142700
  
• 特公昭53-003079
  
• 圧電セラミックス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-353674   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 圧電セラミツクス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-238914   出願人：テイーデイーケイ株式会社