シリンダキャビネット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-195678
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045212
出願日： 1992年07月22日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】大幅な小型化が可能でしかも配管回路の構成の自由度が高いシリンダキャビネットを提供する。【構成】複数の弁体を同一の筐体内に設けるとともに、各弁体を連結するガスの流路を筐体内に配設して全体を一体化する。また、これら一体化した配管回路のブロックを互いに連結して、目的の配管回路を自由に構成することを可能としている。

請求項（抜粋）：

ボンベ等の容器内に貯蔵されたガスを半導体製造装置に供給するシリンダーキャビネットであって、第1、第2、第3のポートと、第1、第2のポート間に形成された第1の流路と、該第1の流路と第3のポートを接続する第2の流路と、第1の流路中に直列に介装された第1、第2の弁体と、第2の流路中に直列に介装された第3の弁体と、前記第1、第2の弁体間の流路及び前記第2の流路に連通するガス導入ポートとを備え、前記第1、第2の流路と第1、第2、第3の弁体とを第1の筐体内に設けて一体化したことを特徴とするシリンダキャビネット。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-179113
特開平2-146400
特開平4-179113

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