特許
J-GLOBAL ID：200903056795362895
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-254683
公開番号（公開出願番号）：特開平11-096954
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】走査電子顕微鏡において、電子線の加速電圧やWDが変化した場合に、検出効率が下がったり、試料像にムラが発生したりしていた。【解決手段】本発明では、試料から発生した二次電子を二次電子検出器に導くための電界を発生させる2枚以上の電極に印加する各々の電圧を、複数の組み合わせ状態に設定できるようにした。
請求項（抜粋）：
電子線を発生する電子源と、前記電子線を集束する集束レンズと、前記電子線を細く絞って試料上に照射させる対物レンズと、前記電子線を前記試料上で二次元的に走査する偏向器と、前記試料から前記電子線の照射により発生した二次電子を検出する検出器と、前記検出器から出力された信号により前記試料の試料像を表示させる手段を具備した走査電子顕微鏡において、前記二次電子を前記検出器に導く電界を発生させる少なくとも2枚以上の電極と、前記電極に印加する各々の電圧を別々に制御する手段を具備し、前記電極に印加する各々の電圧を複数の組み合わせ状態に設定することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/244
, H01J 37/147
, H01J 37/28
H01J 37/244
, H01J 37/147 B
, H01J 37/28 B
