特許
J-GLOBAL ID：200903056795484990
熱形光センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323852
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174551
出願日： 1992年12月03日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】受光部面積を大きくして光量を多くしても、熱時定数がそれほど大きくならない構造にして、高速応答性が損なわれる事がなく、高感度となる熱形光センサを提供することを目的とする。【構成】本発明の熱形光センサは、温度センサが形成してある宙に浮いた構造の薄膜領域と受光部とを分離して、温度センサ部に熱的に接して、かつ、キノコ状に金属などの熱伝導性の良い薄膜材料を延ばして、その傘状部分を受光部としている。
請求項（抜粋）：
宙に浮いた構造の薄膜領域に温度センサを形成した熱形光センサにおいて、該温度センサに熱的に接触し、傘状に空中に広がる高熱伝導性薄膜の拡大受光部を有することを特徴とする熱形光センサ。
IPC (2件)：
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