特許
J-GLOBAL ID：200903056798028104
プラズマガスの使用方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-248843
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086755
出願日： 1994年09月16日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 プラズマ形成のための不活性ガスの効率的な使用方法を提供する。【構成】 プラズマ形成後にトーチチャンバ1から排出される不活性ガスを再度トーチチャンバ1に循環させる。
請求項（抜粋）：
プラズマ形成後にトーチチャンバから排出される不活性ガスを再度前記トーチチャンバに循環させてプラズマ形成のために使用することを特徴とするプラズマガスの使用方法。
IPC (3件)：
G01N 21/73
, H05H 1/26
, H05H 1/30
