特許

J-GLOBAL ID：200903056799613078

レーザ加工装置

発明者： 久所 之夫
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-041883
公開番号（公開出願番号）：特開2002-244072
出願日： 2001年02月19日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】光エンコーダを使用したガルバノメータのみでのレーザ光の走査より高精度の走査ができる。【解決手段】光音響回折素子2により、レーザ発振器1が出射するレーザ光を入射角Θで受け、予め定めた周波数Fの振動から変化させた周波数F+ΔFの振動が加わることによりレーザ光を出射角Θ+ΔΘで出射し、予め定めた精度を有する光エンコーダ4を備えたガルバノメータ5により、光音響回折素子2が出射したレーザ光を受けこの予め定めた精度で、反射方向を変動させながらこの受けたレーザ光を反射し、fθレンズ6により、このレーザ光を屈折させて照射するようにして、このガルバノメータ5が受けたレーザ光を予め定めた照射面上に走査する。

請求項（抜粋）：

レーザ光を受け反射方向を変動させながら前記受けたレーザ光を反射するガルバノメータと、この反射した前記レーザ光を入射し、予め定めた照射面上での、この入射した前記レーザ光の入射角と自レンズの焦点距離との積に比例した距離の位置に、前記受けた前記レーザ光を照射するように屈折させるfθレンズとを有するスキャン光学系を備え、前記ガルバノメータが受けた前記レーザ光を前記予め定めた前記照射面上に走査するレーザ加工装置において、前記レーザ光を出射する前記レーザ発振器と前記スキャン光学系との間に設けられ、前記レーザ発振器が出射する前記レーザ光を入射角Θで受け、予め定めた周波数Fの振動から変化させた周波数F+ΔFの振動が加わることにより前記レーザ光を前記入射角Θに前記ΔFに応じた前記Θの変動分を加えた出射角Θ+ΔΘで出射する光音響回折素子と、予め定めた精度を有する光エンコーダを備えた前記ガルバノメータにより、前記光音響回折素子が出射した前記レーザ光を受け前記予め定めた精度で、反射方向を変動させながら前記受けたレーザ光を反射し、前記fθレンズにより、この反射した前記レーザ光を入射し、前記予め定めた照射面上での、前記入射した前記レーザ光の前記fθレンズへの入射角θと前記fθレンズの焦点距離fとの積f・θに比例した距離の位置に、前記入射した前記レーザ光を屈折させて照射するようにして、前記ガルバノメータが受けた前記レーザ光を前記予め定めた前記照射面上に走査する前記スキャン光学系と、を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (4件)：

G02B 26/10 104 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/08 ,  G02F 1/33

FI (4件)：

G02B 26/10 104 Z ,  B23K 26/06 Z ,  B23K 26/08 B ,  G02F 1/33

Fターム (10件)：

2H045AB54 ,  2H045DA12 ,  2K002AA04 ,  2K002AB03 ,  2K002BA12 ,  2K002DA01 ,  2K002HA10 ,  4E068CD06 ,  4E068CD08 ,  4E068CE03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レーザ加工方法およびレーザ加工機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-003698   出願人：日立ビアメカニクス株式会社
• 特開平2-124513
  
• 特開平4-184412