静電駆動式容量型トランスデューサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-516144
公開番号（公開出願番号）：特表平10-508944
出願日： 1995年11月02日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】力の伝達並びに/または力(重量を含む)及び変位の測定/表示を行う高精度の装置。同装置はマルチプレート容量型トランスデューサ・システム(104)を有する。トランスデューサは微小押込み硬さ試験中に力を加えることと、同力を測定することと、押込み硬さ試験の前後における表面構造を示す原子間力顕微鏡画像を実現すべく同試験の前後における画像形成を行うことに使用できる。

請求項（抜粋）：

力及び変位用高精度トランスデューサであって、 a.一対の容量型トランスデューサと、前記各トランスデューサが独立したドライブ・プレート及び共有ピックアップ・プレートを有し、前記共有ピックアップ・プレートは複数の独立したドライブ・プレート間に配置されていることと、 b.力を遠位の物体に対して選択的に伝達すべくピックアップ・プレートを制御する手段とを含むトランスデューサ。

IPC (2件)：

G01D 5/24 , G01B 7/00

FI (2件)：

G01D 5/24 B , G01B 7/00 K

引用特許：

審査官引用 (11件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-099280 出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
特開昭48-076572
特開昭48-076572

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