光走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大野精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-106695
公開番号（公開出願番号）：特開平5-303038
出願日： 1992年04月24日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】光走査型プローブ顕微鏡における探針について、高精度で容易に再現性よく製作できる構造を提供する。【構成】透明なガラス基板の表面を金属薄膜からなるイオン透過防止用マスク膜で被覆し、周知のフォトリソグラフィー技術を用いてマスク膜に、所定の探針用導波路パターンの開口を複数個、間隔をおいて形成する。この開口の形状は、高分解能を得るために先端部分を次第に細くなるテーパ形状とし、後端部分の幅は、イオン交換処理の結果得られる導波路の出射光のニアフィールドパターンが、接続光ファイバのそれと同じ大きさになるように選ぶ。上記のようにしてマスク膜を施したガラス基板に対し、公知の2段階イオン交換処理を施して、ガラス基板20中に埋め込み形成された光導波路25を有する探針30を得る。

請求項（抜粋）：

光走査型プローブ顕微鏡において、測定試料表面からの光を拾う探針を基板に形成した光導波路で構成し、該導波路の一端を測定試料表面近傍に位置させるとともに、導波路他端に光ファイバを接続して出射光を光検出器に導くようにしたことを特徴とする光走査型プローブ顕微鏡。

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