特許
J-GLOBAL ID：200903056805622670
光電式エンコーダ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-051998
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253395
出願日： 1997年03月06日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 小型でかつ複数位相の正弦波状変位信号を得ることが可能で、エアギャップを小さくしてうねりの影響を除いた高精度位置測定を可能とした3格子システムの反射型の光電式エンコーダを提供する。【解決手段】 メインスケール1にピッチPの反射型格子(第2の格子)13が形成され、インデックススケール2上には、LED3の光を受ける領域内に、二次光源光を出す透過型格子(第1の格子)23と、メインスケール1からの反射光を受けるフォトダイオードアレイ(第3の格子)21とが一体に形成される。フォトダイオードアレイ21は、3Pの幅内の4相の正弦波状変位信号を得る4個のフォトダイオード21a〜21dを1セットとして、ピッチ6Pで複数セット配置され、そのスペース位置に遮光膜22aによりピッチPの透過型格子23が形成される。フォトダイオードアレイ21は遮光膜22bにより覆われる。
請求項（抜粋）：
所定ギャップを保って相対移動可能に配置された第1及び第2の部材を有し、前記第2の部材上に照明光源の光を受けて二次光源光を出す透過型の第1の格子が形成され、前記第1の部材上に前記第1の格子からの二次光源光を受ける反射型の第2の格子が形成され、前記第2の部材上に前記第2の格子からの反射光を受ける第3の格子としての受光素子アレイが形成された光電式エンコーダにおいて、前記第2の部材上の第3の格子を構成する受光素子アレイは、第1の格子が配列形成された前記照明光源からの光を受ける領域に重なるように、位相の異なる複数の正弦波状変位信号を得る複数個で1セットの受光素子を相対移動方向に配列して構成されていることを特徴とする光電式エンコーダ。
FI (2件)：
G01D 5/30 E
, G01D 5/30 T
