特許
J-GLOBAL ID：200903056806142205
小型アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-070181
公開番号（公開出願番号）：特開平6-277624
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：
【要約】【目的】 振動体を利用することで大きな駆動力が得られ、しかもリニア型のアクチュエータとした場合には大きな変位量が得られる。【構成】 基板1の外周部には、自由端が-x方向に延びる複数の片持ち梁2と、自由端が+x方向に延びる複数の片持ち梁3と、自由端が+y方向に延びる複数の片持ち梁4と、自由端が-y方向に延びる片持ち梁5とが形成される。各片持ち梁2、3、4、5はそれぞれ固有振動数が異なる。基板1の中央部には、厚み方向に分極され、出力周波数が可変の交流電源(不図示)に接続された圧電体6が固定される。この基板1を基台(不図示)に載置し、圧電体6に所定の交流電圧を印加し、基板1を片持ち梁2の固有振動数と等しい振動数で振動させると、片持ち梁2は共振し、基板1が-x方向に移動する。同様に、基板1を+x方向、+y方向、および-y方向にも移動させることができる。
請求項（抜粋）：
先端部が他の平板部材に当接可能な片持ち梁が形成された基板と、前記基板を前記片持ち梁の固有振動数と略等しい振動数で振動させるための励振手段とを有することを特徴とする小型アクチュエータ。
IPC (3件)：
B06B 1/06
, H01L 41/09
, H02N 2/00
