端面位置検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：市村健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-068110
公開番号（公開出願番号）：特開平7-253308
出願日： 1994年03月14日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】信号処理回路の最適化の調整を自動的に行う端面位置検出装置を提供することである。【構成】光検知手段3に入射した照明光1による検出信号は、加算回路12で可変の設定電圧が加算され、暗の状態に対応する所定値に、増幅回路13で可変の増幅率で増幅され、明の状態に対応する所定値になる。端面判定手段7は検出信号が被検物の端面位置に対応する電圧値を出力するとき、載物台位置検出手段10が検出する載物台9の位置を被検物の端面位置であると判定する。

請求項（抜粋）：

対物レンズの結像面に配置され、載物台に載置された被検物の端面が横切るときに発生する照明光束の明暗状態を検知して検出信号を出力する光検知手段を具備し、前記検出信号の変化に基づいて、前記被検物の端面位置を検出する端面検出装置において、前記載物台の位置を検出する載物台位置検出手段と、前記照明光束の明の状態に対応する所定値及び暗の状態に対応する所定値、ならびに前記被検物の端面位置に対応する所定値を記憶する記憶手段と、前記検出信号に可変の設定電圧を加算して、前記暗の状態に対応する所定値にする加算回路、及び前記検出信号を可変の増幅率で増幅して、前記明の状態に対応する所定値にする増幅回路からなる電圧調整手段と、前記検出信号が前記被検物の端面位置に対応する所定値と一致した信号値を出力するとき、前記載物台位置検出手段が検出する載物台の位置を、前記被検物の端面位置であると判定する端面判定手段とを具備することを特徴とする端面位置検出装置。

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