特許

J-GLOBAL ID：200903056813703751

露光装置

発明者： 今西 慎悟 ,  増原 慎 ,  山津 久行 ,  柏木 俊行
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-099198
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289475
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】 露光用のレーザビームを高速変調すると共に十分な振幅で偏向させることができる露光装置を提供する。【解決手段】 露光用レーザ172からの光ビームは、ビームスプリッタ173で反射され、レンズ174で集光され、レンズ174の焦点面からずらして設置されているAOM175で変調および偏向される。AOM174で変調された拡散光は、レンズ176でコリメートされ、反射鏡177,179および偏光ビームスプリッタ186,1/4波長板187,レンズ188を経て、対物レンズ190で集光されてガラス原盤191を露光する。光ビームを偏向しない場合には、反射鏡180で反射され、レンズ181で集光され、AOM182で変調され、レンズ183,ビームスプリッタ184,1/4波長板185を経て偏光ビームスプリッタ186に至る光路を用いて、同様にガラス原盤191を露光する。

請求項（抜粋）：

記録媒体の原盤上に形成された感光層を露光する露光装置であって、露光用の光源と、上記光源からの光を集光する第1の集光手段と、上記第1の集光手段により集光された光を記録信号に応じて変調する、上記第1の集光手段の焦点面からずらして設置された音響光学効果光変調器と、上記音響光学効果光変調器により変調された光を記録媒体の原盤上に形成された感光層に集光する第2の集光手段とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G11B 7/135 ,  G11B 7/26 501

FI (2件)：

G11B 7/135 Z ,  G11B 7/26 501

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学式記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-322647   出願人：ソニー株式会社
• 特開平4-026941
  
• 特開平4-026941
  
• 特開平4-026941