特許
J-GLOBAL ID：200903056819596841
光学的変位量測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小泉 伸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-164222
公開番号（公開出願番号）：特開平5-333031
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 被測定対象の変位状態を短時間で測定でき、かつ、高精度でダイナミックレンジが広い光学的変位量測定装置を提供することを目的とする。【構成】被測定物体30にレーザ光をある時間間隔をおいて2度照射して、二のスペックルパターンを得る。該二のスペックルパターンを、FLCSLM7に二重記録する。該二重記録スペックルパターンを読みだし、フーリエ変換レンズ12によりフーリエ変換して、ヤングの干渉縞を含む回折像を形成する。これをFLCSLM13に記録する。ビーム整形部11Bが、レーザビームの形状を、該回折像の形状に応じて変形する。該レーザビームを、FLC-SLM13に照射し、該ヤングの干渉縞を読みだし、これをフーリエ変換レンズ15によりフーリエ変換して、該二重記録したスペックルパターンの相関に応じた+1次の回折光を形成する。PSD16が、該+1次回折光の重心位置を検出する。
請求項（抜粋）：
被測定対象へ光を照射して、二の測定時刻における該被測定対象の像を形成するための光照射手段と、該二の測定時刻における該被測定対象の像を二重記録するための第一の記録手段と、該第一の記録手段にコヒーレント光を照射して該二重記録像を読みだすための第一のコヒーレント光投光手段と、該読み出した二重記録像をフーリエ変換して第一のフーリエ変換像を形成するための第一のフーリエ変換手段と、該第一のフーリエ変換像を記録するための第二の記録手段と、該第二の記録手段にコヒーレント光を照射して該第一のフーリエ変換像を読みだすための第二のコヒーレント光投光手段であって、該コヒーレント光の形状を変化させるためのコヒーレント光変形手段を具備したものと、該読み出した第一のフーリエ変換像をフーリエ変換して第二のフーリエ変換像を形成するための第二のフーリエ変換手段と、該第二のフーリエ変換像の状態を検出するための光検出手段とを備えたことを特徴とする光学的変位量測定装置。
IPC (2件)：
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