特許
J-GLOBAL ID：200903056841509375
反射光学系及び露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-208612
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038323
出願日： 1997年07月16日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】コマ収差変動を低減した反射光学系及び露光装置を提供する。【解決手段】スプリット膜Sを有するビームスプリッターBSと、ビームスプリッターBSに入射する光束の透過光路又は反射光路に配置されてビームスプリッターBSに反射光が戻るように配置された反射鏡Mとを有する反射光学系において、反射光学系は光線吸収膜Aを有し、光軸aに対するスプリット膜Sの傾斜方向と光軸aに対する光線吸収膜Aの傾斜方向とが互いに反対方向となるように光線吸収膜Aを配置したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
スプリット膜を有するビームスプリッターと、該ビームスプリッターに入射する光束の透過光路又は反射光路に配置されて前記ビームスプリッターに反射光が戻るように配置された反射鏡とを有する反射光学系において、該反射光学系は光線吸収膜を有し、光軸に対する前記スプリット膜の傾斜方向と光軸に対する前記光線吸収膜の傾斜方向とが互いに反対方向となるように前記光線吸収膜を配置したことを特徴とする反射光学系。
IPC (4件)：
G02B 17/08
, G02B 5/04
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G02B 17/08 A
, G02B 5/04 B
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
