ガルバノミラー装置およびこれを用いた光ディスク装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：外川英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213411
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062709
出願日： 1996年08月13日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】従来のガルバノミラーは質量が大きく、光学ヘッドの高速シークが阻害されてしまっていた。【解決手段】本発明のガルバノミラー装置9 は第1のプレート21,第2のプレート22の2つのプレートが積層された構造をなしている。第1のプレート21は反射ミラーを備えた揺動部25を有し、シリコンを主体とする半導体の異方性エッチングにより一体成形されている。また第2のプレート22は、例えばガラス板等の電気的絶縁材料で形成され、第1のプレート21に対向配置されている。ここで揺動部25は楕円形状に形成されているため、揺動運動の際に作用する慣性モーメントを非常に小さくすることができ、駆動効率を最大にすることが可能となる。

請求項（抜粋）：

反射ミラーを備え非円形状に形成された揺動体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と対向配置される固定部と、を有することを特徴とするガルバノミラー装置。

IPC (2件)：

G02B 26/10 104 , G11B 7/135

FI (2件)：

G02B 26/10 104 , G11B 7/135 A

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