特許
J-GLOBAL ID:200903056856406017
ミリ波・サブミリ波帯分光装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
平山 一幸 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-058702
公開番号(公開出願番号):特開2000-258363
出願日: 1999年03月05日
公開日(公表日): 2000年09月22日
要約:
【要約】【課題】 ミリ波・サブミリ波領域の電磁波分光において小型で廉価なしかも安定したミリ波・サブミリ波帯分光装置を提供する。【解決手段】 励起光源1の、例えばマルチモード半導体レーザのインコヒーレントなレーザ光で光スイッチ素子4を照射し、ミリ波・サブミリ波帯の電磁波を発生させる。これを放物面鏡9で平行化し、マルチン・パプレット型干渉計に導く。これから出てきた電磁波は試料10を透過させた後、放物面鏡9を用いてホットエレクトロンボロメタ11で検出する。これにより試料の透過率を求めることができる。また放物面鏡9とホットエレクトロンボロメタ11の配置を変えて反射電磁波を測定し、試料の反射率を求めることができる。これらを計算処理することにより、試料のミリ波・サブミリ波帯における複素屈折率、キャリヤ濃度及び移動度などを求めることができる。
請求項(抜粋):
励起光源からのインコヒーレント光を光スイッチ素子に照射して発生したミリ波・サブミリ波帯の電磁波を用いて分光する、ミリ波・サブミリ波帯分光装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (2件):
引用文献:
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