圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-113079
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310827
出願日： 2001年04月11日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】センサチップと金属ステムとを樹脂製接着剤にて接着する圧力センサにおいて、温度変化によるセンサ出力の変動を極力抑制する。【解決手段】センサチップ10と金属ステム20とを接着する樹脂製接着剤40は、そのクリープ速度V、応力σとの関係式V=A・σB (A、Bは定数)において式中の定数Bが3.5以下であるようなクリープ特性を有する。

請求項（抜粋）：

ピエゾ抵抗効果によって印加圧力に応じた信号を出力するセンサ素子(10)と、このセンサ素子に接着され前記センサ素子を支持する金属ステム(20)とを備える圧力センサにおいて、前記センサ素子と前記金属ステムとが樹脂製接着剤(40)を介して接着されており、前記樹脂製接着剤は、そのクリープ速度をV、応力をσとしたとき、前記クリープ速度Vが次の数式1にて【数1】V=A・σB (A、Bは定数)示され、且つ、前記数式1中の定数Bが3.5以下であるようなクリープ特性を有するものであることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84 B

Fターム (24件)：

2F055AA21 , 2F055BB12 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055EE15 , 2F055FF01 , 2F055GG12 , 2F055GG31 , 4M112AA01 , 4M112CA03 , 4M112CA08 , 4M112CA12 , 4M112DA10 , 4M112DA12 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA11 , 4M112EA13 , 4M112EA14 , 4M112FA05 , 4M112GA01

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-267566
特開昭63-217671
半導体歪みセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-052163 出願人：株式会社デンソー

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