特許
J-GLOBAL ID：200903056860084873
研磨工具及びそれを用いた研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-061764
公開番号（公開出願番号）：特開平10-244451
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】 多種多様な形状のワークに少数の研磨工具で対応できるとともに、摺り合わせの不要な画期的な研磨工具及びそれを用いた研磨方法を提供する。【解決手段】 本発明の研磨工具1の工具本体4は、伸縮性ポリシャ2で覆われた研磨面を有する。そして、ポリシャ2の内側には磁性流体3が封入されている。さらに、選択された方向に向けて該磁性流体3を付勢する磁気付勢手段7が設けられており、伸縮性ポリシャ2を被研磨面に押し付けることができる。
請求項（抜粋）：
伸縮性ポリシャで覆われた研磨面を有し、該ポリシャの内側に液体が封入されていることを特徴とする研磨工具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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